無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)
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無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn):
依據(jù)美國(guó)政府頒布的標(biāo)準(zhǔn),可將無(wú)塵車間分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí):
1級(jí):這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。
10級(jí):這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級(jí):很多人認(rèn)為,這一級(jí)無(wú)塵車間是最常用因而是最重要的無(wú)塵車間,人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無(wú)菌室,以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求,100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
1000級(jí):這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級(jí):萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級(jí):十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車間。了解更多無(wú)塵車間等級(jí)情況
等 級(jí) | 每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù) | 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù) |
100 | 《35*100(〈3.5〉 | |
1000 | 《35*1000(〈35〉 | 《250(〈0.25〉 |
10000 | 《35*10000(〈350〉 | 《2500(〈2.5〉 |
100000 | 《35*100000(〈3500〉 | 《25000(〈25〉 |
解釋:目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無(wú)塵室等級(jí)大都為1000級(jí)和100級(jí)的居多,級(jí)數(shù)越低潔凈度就越高,質(zhì)量越好。如果無(wú)塵車間的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)東莞無(wú)塵車間最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無(wú)塵車間等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級(jí)在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無(wú)塵車間之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。
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可承接各類潔凈度、濕度、溫度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的凈化工程(如:動(dòng)態(tài)千級(jí)潔凈車間、百級(jí)手術(shù)室ICU、A級(jí)無(wú)菌車間)
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