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凈化車間
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常用凈化車間潔凈度等級一覽表

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人氣:-發(fā)表時間:2015-11-19 10:40【

?凈化車間的級別一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4個級別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同,形成必要的級別是不一樣的。例如,在半導(dǎo)體制造工廠等里邊,根據(jù)作業(yè)內(nèi)容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的凈化間。而且,在制藥工廠里,根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序,需有從M3.5到M6.5(100,000)范圍廣泛的級別不等凈化間。因此說,各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間,其要求的潔凈度是不同的。

就一般級別而言,表11可以作為參考。

表11,各產(chǎn)業(yè)所要求的凈化車間級別一覽

領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)

潔凈度標(biāo)準(zhǔn)(級別

內(nèi)容

SI

English unit

半導(dǎo)體工業(yè)(IC、LSI等)

掩模板對準(zhǔn)工藝

M3.5

100


刻蝕工藝

M3.5

100

腐蝕加工

擴散工藝

M3.5

100

高純度擴散

蒸著工藝

M3.5

100

高純度電鍍

涂布工藝

M3.5

100

感光劑涂布

電子設(shè)備

計算器制造

M5.5

10,000

磁頭

陰極射線管

M5.5

10,000,

遮屏

磁帶

M5.5

10,000

防止雜音

精密儀器

陀螺、微型軸承

M5.5

10,000

提高精度

導(dǎo)彈部件、繼電器

M5.5

10,000

防止誤動作

鐘表、小型計量儀器

M5.5

10,000

組立、封裝、修理

光學(xué)、印刷

照相機、印刷電路板

M5.5

10,000

制作

鏡頭、膠片

M4.5

1,000

連接

電子制版

M5.5

10,000

制作、檢查

化學(xué)藥品

注射液充填

M3.5

100

調(diào)和、充填

無菌動物養(yǎng)育

M3.5

100

SPF

化學(xué)藥品

抗生物

M5.5

10,000

充填、檢查

一般醫(yī)療品

M6.5

100,000

制造

食品

釀造、發(fā)酵

M5.5

10,000

防止醬油、大醬腐壞

乳制品、生食品

M6.5

100,000

防止酸乳酪變質(zhì)

食肉加工

M5.5

10,000

火腿、香腸

攪拌(弄成糊狀)食品

M5.5

10,000

攪拌后備烤的圓筒形、半圓形魚肉、魚肉山芋丸子等食品制冷時防止細菌粘附上。

醫(yī)療

手術(shù)室

M3.5

100

股關(guān)節(jié)手術(shù)、臟器移植

特殊治療室

M3.5

100

白血病、燙傷

恢復(fù)、新生兒室

M3.5

10,000

早產(chǎn)兒、術(shù)后防止感染

臨床檢查

M5.5

10,000

菌類培植、檢查

農(nóng)林畜產(chǎn)

蘑菇栽培

M5.5

10,000

防止蘑菇種菌被雜菌感染

植物

M6.5

100,000

蘭花栽培(試驗用無菌植物、強勢培植植物)

養(yǎng)殖

M5.5

10,000

防止魚、蠶類因菌侵襲致死

微生物工程

一般病原體

M3.5

100

馬爾堡病毒、拉薩氏熱、艾伯拉出血熱(排出空氣)

基因轉(zhuǎn)換

M3.5

100

大腸菌(排出空氣)

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