電子光學凈化車間設計方案需注意事項?
電子潔凈廠房工程其主要特點:1、車間面積大;2、多變性;電子光學行業(yè)技術革新快,生產(chǎn)工藝變化,車間平面布局也隨之變化,因此在設計凈化車間時應注意平面上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔。
電子光學凈化車間設計需注意事項
(1)平面由工藝決定,電子凈化車間的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求;
(2)主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系;
(3)大型電子行業(yè)潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造;
(4)應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口;
(5)電子凈化車間按二級耐火等級設計;
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5M;
(7)電子凈化車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料;
(8)電子光學潔凈室車間允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數(shù)為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數(shù)太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室;
(9)對于潔凈等級高的潔凈車間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具;
(10)電子潔凈室車間常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除;
(11)電子潔凈室車間有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源;
(12)電子凈化車間除有一般給排水要求外,對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準;
電子光學潔凈車間的環(huán)境參數(shù)
參 數(shù) | 數(shù) 值 | 說 明 |
截面風速/(M/S) | 0.3-0.5 0.2-0.4 | 潔凈度1-3級(ISO)潔凈室 潔凈度4-5級(ISO)潔凈室 |
換氣次數(shù)/(次/H) | 50-60 15-25 10-15 | 潔凈度6級(ISO)潔凈室 潔凈度7級(ISO)潔凈室 潔凈度8-9級(ISO)潔凈室 |
靜壓差/PA | >5 >10 | 不同等級潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室 之間潔凈室與室外之羊 |
溫度/。C | 18-22 16-20 按具體工程項目要求24-26 26-28 按具體工程項目要求 | 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 |
相對濕度/% 冬 夏 | 30-50 按具體工程項目要求 50-70 按具體工程項目要求 | 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 |
新風量/[M3/(人.H) | 40 | |
噪聲/DB(A) | <65 | 單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室 |
照度/1X | 300-500 200-300 | 非單向流潔凈室主要生產(chǎn)用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外) 其他用房 |
照度均勻度 | 0.7 | |
靜電表面電阻率 | 1*105—1*1010 | 一級標準為1*105—1*107 |
靜電體積電阻率 | 1*104-1*109 | |
地面對地的漏泄電阻 | *105-1*108 | |
靜電壓 | <50(45%相對濕度) | 4級(ISO)以上潔凈室 |
振動速度 振動加速度 振幅 相對位移量 | 根據(jù)工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標<隔振設計規(guī)范> | |
電磁干擾 | 4級(ISO)以上潔凈室,當潔凈室靠近高壓輸配電設施時尤為重要 |