二、空調(diào)凈化系統(tǒng)

空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點(diǎn)，下面來介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

2.1 空調(diào)系統(tǒng)

1 切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求，設(shè)風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)（PAC）來保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋面上。切片室的排風(fēng)量較大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機(jī)S1-1和S1-2來補(bǔ)充。車間有防塵要求，風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm 粒子），同樣屋頂式空調(diào)機(jī)需設(shè)兩級過濾器。

其原理圖見圖:

2 爐室、BSD室僅有溫度控制要求

設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)（PAL）來保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用方形散流器頂送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋面上。新風(fēng)由相鄰潔凈室正壓過來。車間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子）。

3 磨片檢查室有溫度和濕度控制要求

設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)（PAL）來保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用方形散流器頂送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋面上。新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)機(jī)組（MAU-1、2）處理后，接至送風(fēng)管上送到室內(nèi)，相對濕度由新風(fēng)機(jī)組來保證。新風(fēng)機(jī)組是與凈化系統(tǒng)共用的。車間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子），新風(fēng)機(jī)組內(nèi)設(shè)粗、中效過濾器。

2.2 凈化系統(tǒng)

光伏新能源凈化工程系統(tǒng)用的新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU）和循環(huán)空調(diào)機(jī)組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

1) CP室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，CP室工藝設(shè)備用酸量較多，采用全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU-3）+高效過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效過濾器送風(fēng)-潔凈區(qū)。

2) ML室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU）+循環(huán)機(jī)組（AHU）+高效過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

3) CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6 級，換氣次數(shù)取為50次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU）+循環(huán)機(jī)組（AHU）+高效過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

4) 7級、6 級的潔凈室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風(fēng)口送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。其氣流流程為：新回風(fēng)混合!中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效過濾器送風(fēng)口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。

5) 洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU）+循環(huán)機(jī)組（AU）+風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4+、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機(jī)組（AHU）內(nèi)增設(shè)化學(xué)過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風(fēng)混合-化學(xué)過濾器（NH4+）-化學(xué)過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

三、凈化系統(tǒng)的空調(diào)自動(dòng)控制

新風(fēng)機(jī)組（MAU-1、2）采用變頻風(fēng)機(jī)，由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入每個(gè)風(fēng)量及正壓控制循環(huán)機(jī)組（AHU）的新風(fēng)管上均設(shè)置電動(dòng)調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化，電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)AHU-1、2的風(fēng)機(jī)頻率，以達(dá)到控制目的。

3.1 凈化車間的溫濕度控制

凈化車間的濕度是由新風(fēng)機(jī)組MAU-1、2來保證，控制新風(fēng)機(jī)組送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動(dòng)二通閥的開度。露點(diǎn)溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。

凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機(jī)組AHU來保證的，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器回水管上的電動(dòng)二通閥的開度。

3.2 供冷系統(tǒng)控制

冷凍水系統(tǒng)方面采用一級泵，用負(fù)荷控制的方法來確定冷水機(jī)組及相應(yīng)水泵、冷卻塔的開啟臺數(shù)。根據(jù)設(shè)定供、回水壓差來自動(dòng)控制供、回水主管之間壓差流量旁通閥。