潔凈室中的溫濕度控制問題。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%

美克威爾專注（www.17jianshen.cn）凈化工程建設(shè)，包括：潔凈室、無塵車間、潔凈車間、凈化車間，潔凈廠房、無塵廠房等凈化工程的建設(shè)與施工，美克威爾擁有20多年的凈化工程建設(shè)與施工團(tuán)隊，幫助眾多企業(yè)打造出適合企業(yè)生產(chǎn)、加工的潔凈工程，美克威爾服務(wù)過眾多國內(nèi)外知名大型企業(yè)，如：統(tǒng)一集團(tuán)、銀鷺集團(tuán)、廣藥集團(tuán)、中聯(lián)制藥、青春康源集團(tuán)、富士康、順絡(luò)電子、康佳電子、長信科技、揚(yáng)子江藥業(yè)、中聯(lián)藥業(yè)、法雷奧、偉創(chuàng)力、深圳婦幼保健院、深南電路等知名企業(yè)，美克威爾以服務(wù)、優(yōu)惠的價格贏得了廣大企業(yè)的贊賞與認(rèn)可，美克威爾全面響應(yīng)國家“十二五”相關(guān)產(chǎn)業(yè)規(guī)劃升級，在電子、醫(yī)藥、食品制造環(huán)境領(lǐng)域里不斷前行，竭力打造電子、醫(yī)藥、食品環(huán)境潔凈、安全品牌，為不斷發(fā)展升級的國內(nèi)醫(yī)藥、食品、電子的生產(chǎn)環(huán)境需求，提供專業(yè)、性價比的服務(wù)。

美克威爾潔凈工程建設(shè)咨詢熱線：400-018-0038  在線客服咨詢