無塵車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于無塵車間需嚴格控制溫度精度時或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動態(tài)”進行測試時應(yīng)用;一般溫度測試主要使用于“空態(tài)”時溫度測試。

無塵車間功能溫度測試，應(yīng)將潔凈區(qū)劃分為等面積的柵格，每個分格面積不超過100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。測試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。無塵車間一般溫度測試的測點，每個溫度控制區(qū)或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。

無塵車間濕度測試：濕度測試可采用通風(fēng)干濕球濕度計、電容式濕度計、數(shù)字式濕度計、毛發(fā)式濕度儀器。