?凈化車間的級別一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4個級別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同,形成必要的級別是不一樣的。例如,在半導(dǎo)體制造工廠等里邊,根據(jù)作業(yè)內(nèi)容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的凈化間。而且,在制藥工廠里,根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序,需有從M3.5到M6.5(100,000)范圍廣泛的級別不等凈化間。因此說,各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間,其要求的潔凈度是不同的。
就一般級別而言,表11可以作為參考。
表11,各產(chǎn)業(yè)所要求的凈化車間級別一覽
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