- [行業(yè)動態(tài)]半導體潔凈車間技術[ 2015-06-25 14:02 ]
- 半導體組件空間單位都是以微米計算,因此微塵顆粒沾附在制作半導體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導線布局的樣式,造成短路或斷路的嚴重后果。所有半導體制程設備都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中,這就是半導體潔凈車間的來由。
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